r 经过严格的粒径控制和专业的加工工艺。r
rr 该产品抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。r
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rr 产品特点:r
rr 1.分散性好、不结晶 。r
rr 2.粒径分布广泛:5-100nm。r
rr 3.高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。r
rr 4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。r
rr 5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。r
rr 6.PH、粒径、稳定离子等可以根据客户定制(10-150 nm)r
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rr 抛光过程中具有:r
rr 1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。(可以生产150 nm)。r
rr 2.高平坦度加工,本品抛光是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。r
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rr 抛光过程后具有:r
rr 1.精度可以达到埃级r
rr 2.划伤和挖伤可以达到0/0r
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rr r r r 抛光液物性表r r r r r 主要成分:r r r 外观:r r r 密度:r r r pH值:r r r r r SiO2r r r 白色液体r r r 1.15±0.05r r r 9.8±0.5r r r r r 抛光温度:r r r 稀释率<1:r r r 抛光压力:r r r r r r r r 10~38℃r r r 1~10r r r 150~250g/cm&sup2r r r r r rrr 可根据客户定制不同参数r
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r 使用方法:r
rr 1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释。r
rr 2.稀释后,粗抛时调节PH至11左右,精抛时调节PH至9.5左右。pH调节可以用10%的盐酸、醋酸、柠檬酸、KOH或氨水在充分搅拌下慢慢加入。r
rr 3.循环抛光可以用原液。r
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rr 储存方法:r
rr 1.贮存时应避免曝晒,贮存温度为5-35℃r
rr 2.低于0℃以上储存,防止结冰,在零度以下因产生不可再分散结块而失效。r
rr 3.避免敞口长期与空气接触。r
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rr 价格实惠:r
rr 福吉的生产技术,是引进国外生产技术,其品质可以媲美进口的产品,但福吉产品价格比进口便宜,有效的避免了进口产品其交货周期长,价格昂贵。r
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rr 安全处置:r
rr 1.车间内必须保持良好的通风状况。r
rr 2.避免放置在儿童能接触到的地方。如与眼睛或皮肤接触,请用大量清水冲洗。r
rr 3.在使用时请勿进食或吸烟。r
rr 4.使用前可参阅安全技术说明书。r
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rr 包裝方式:25KG/桶(也可依客户需求)r
rr 产品制造:品性依据ISO9001规范r
rr 保存期限:保质期为二年,建议在一年内使用。r
rr 保存条件:温度范围=5°C~35°C ,湿度范围<=70%r
rr 危险特征:产品本身没有刺激性,对人体无害。r
rr 废弃物处理:切勿将废弃抛光剂排放入下水道、水体或土壤,废置抛光液应符合当地环保标准来处理。r
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